研判2025！中國半導(dǎo)體設(shè)備金屬零部件行業(yè)發(fā)展歷程、市場政策匯總、產(chǎn)業(yè)鏈圖譜、市場規(guī)模、競爭格局及發(fā)展趨勢分析：國產(chǎn)化替代進(jìn)程加速[圖]

內(nèi)容概要：半導(dǎo)體設(shè)備金屬零部件是晶圓制造環(huán)節(jié)的核心配套組件，深度參與并支撐光刻、刻蝕、沉積、清洗等關(guān)鍵制程的全流程運(yùn)轉(zhuǎn)，是半導(dǎo)體設(shè)備實(shí)現(xiàn)高性能、高可靠性與高良率的核心基礎(chǔ)之一，近年來，受益于下游半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的快速崛起與產(chǎn)能擴(kuò)張，我國半導(dǎo)體設(shè)備金屬零部件市場同步實(shí)現(xiàn)規(guī)?；l(fā)展，據(jù)統(tǒng)計(jì)，2024年我國半導(dǎo)體設(shè)備金屬零部件行業(yè)市場規(guī)模達(dá)31億美元，同比增長34.8%，占全球半導(dǎo)體設(shè)備金屬零部件行業(yè)整體規(guī)模的42%，已成為推動(dòng)全球半導(dǎo)體設(shè)備金屬零部件產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重要力量。

相關(guān)上市企業(yè)：富創(chuàng)精密（688409）、先鋒精科（688605）、珂瑪科技（301611）

相關(guān)企業(yè)：上海申和投資有限公司、富士邁半導(dǎo)體精密工業(yè)（上海）有限公司、超科林微電子設(shè)備（上海）有限公司、重慶臻寶科技股份有限公司、托倫斯精密制造（江蘇）股份有限公司

關(guān)鍵詞：半導(dǎo)體設(shè)備金屬零部件行業(yè)發(fā)展歷程、半導(dǎo)體設(shè)備金屬零部件市場政策匯總、半導(dǎo)體設(shè)備金屬零部件產(chǎn)業(yè)鏈圖譜、半導(dǎo)體設(shè)備金屬零部件市場規(guī)模、半導(dǎo)體設(shè)備金屬零部件競爭格局、半導(dǎo)體設(shè)備金屬零部件發(fā)展趨勢

一、概述

半導(dǎo)體設(shè)備零部件是構(gòu)成半導(dǎo)體制造設(shè)備的基礎(chǔ)單元，是設(shè)備實(shí)現(xiàn)晶圓加工、檢測等核心功能的關(guān)鍵組成部分，直接影響設(shè)備的精度、穩(wěn)定性和使用壽命，半導(dǎo)體設(shè)備零部件品類眾多，按結(jié)構(gòu)構(gòu)成不同，可以分為機(jī)械、電氣、機(jī)電一體、氣體/液體/真空系統(tǒng)、儀器儀表和光學(xué)等類型，其中，半導(dǎo)體設(shè)備金屬零部件是指以金屬材料為核心基材，通過精密加工、表面處理等工藝制成，應(yīng)用于半導(dǎo)體制造設(shè)備內(nèi)部的關(guān)鍵功能性或結(jié)構(gòu)性組件。根據(jù)《國民經(jīng)濟(jì)行業(yè)分類（GB/T4754-2017）》，半導(dǎo)體設(shè)備金屬零部件行業(yè)屬于“C34通用設(shè)備制造業(yè)”下的“C3484機(jī)械零部件加工”。

按功能屬性不同，半導(dǎo)體設(shè)備金屬零部件可以分為功能性零部件和結(jié)構(gòu)性零部件兩大類；按應(yīng)用工藝環(huán)節(jié)不同，半導(dǎo)體設(shè)備金屬零部件可以分為光刻設(shè)備用金屬零部件、刻蝕設(shè)備用金屬零部件、薄膜沉積設(shè)備用金屬零部件、離子注入設(shè)備用金屬零部件、清洗設(shè)備用金屬零部件、量測設(shè)備用金屬零部件等類型；按核心材質(zhì)不同，半導(dǎo)體設(shè)備金屬零部件可以分為超高純金屬零部件、特種合金零部件和涂層改性金屬零部件等類型。

二、發(fā)展歷程

我國半導(dǎo)體設(shè)備金屬零部件行業(yè)發(fā)展可劃分為技術(shù)依賴期、初步探索期、體系建設(shè)期和國產(chǎn)替代加速期四個(gè)階段，2016年以來，我國半導(dǎo)體設(shè)備金屬零部件企業(yè)聚焦真空腔體、靜電卡盤等核心功能件，在亞微米精度、超高純度等指標(biāo)上持續(xù)突破，客戶從本土設(shè)備廠向國際廠商滲透，通過國際認(rèn)證進(jìn)入全球供應(yīng)鏈，替代范圍從成熟制程向先進(jìn)制程延伸，頭部企業(yè)通過并購整合擴(kuò)大規(guī)模，細(xì)分賽道“隱形冠軍”涌現(xiàn)，行業(yè)集中度提升，國際壟斷格局逐步被打破。

三、市場政策

我國將半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主可控列為戰(zhàn)略目標(biāo)，近年來，相繼發(fā)布《關(guān)于集成電路企業(yè)增值稅加計(jì)抵減政策的通知》《制造業(yè)可靠性提升實(shí)施意見》《關(guān)于印發(fā)電子信息制造業(yè)2023—2024年穩(wěn)增長行動(dòng)方案的通知》《電子信息制造業(yè)2023—2024年穩(wěn)增長行動(dòng)方案》《關(guān)于推動(dòng)未來產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展的實(shí)施意見》《關(guān)于加快數(shù)字經(jīng)濟(jì)高質(zhì)量發(fā)展的意見》《貫徹實(shí)施〈國家標(biāo)準(zhǔn)化發(fā)展綱要〉行動(dòng)計(jì)劃（2024—2025年）》《關(guān)于促進(jìn)非銀行金融機(jī)構(gòu)支持大規(guī)模設(shè)備更新和消費(fèi)品以舊換新行動(dòng)的通知》《支持蘇州工業(yè)園區(qū)深化開放創(chuàng)新綜合試驗(yàn)的若干措施》《關(guān)于推動(dòng)技能強(qiáng)企工作的指導(dǎo)意見》《關(guān)于促進(jìn)集成電路產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的若干政策》等一系列政策支持、鼓勵(lì)和規(guī)范半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展，作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)重要配套之一的半導(dǎo)體設(shè)備金屬零部件也受到眾多產(chǎn)業(yè)政策的支持。

四、產(chǎn)業(yè)鏈

半導(dǎo)體設(shè)備金屬零部件行業(yè)上游主要包括鋁合金、不銹鋼、哈氏合金、銅、鈦、鎳等原材料供應(yīng)商，五軸聯(lián)動(dòng)加工中心、納米級研磨機(jī)、激光切割機(jī)等生產(chǎn)設(shè)備供應(yīng)商以及高純氣體、表面涂層材料、精密加工用油劑等輔料供應(yīng)商；行業(yè)中游為半導(dǎo)體設(shè)備金屬零部件生產(chǎn)企業(yè)；行業(yè)下游為應(yīng)用與終端環(huán)節(jié)，中游金屬零部件先供給半導(dǎo)體設(shè)備廠商，用于組裝光刻、刻蝕、薄膜沉積等各類制造及封測設(shè)備，隨后這些設(shè)備交付給晶圓廠和芯片封測企業(yè)，用于晶圓加工與芯片封裝測試，最終芯片產(chǎn)品流入消費(fèi)電子、汽車電子、AI、醫(yī)療電子等終端領(lǐng)域。

半導(dǎo)體設(shè)備作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的核心基礎(chǔ)與關(guān)鍵先導(dǎo)產(chǎn)業(yè)，是芯片制造環(huán)節(jié)的核心支撐，其技術(shù)水平直接決定了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控能力。近年來，在國家政策持續(xù)加碼與下游市場需求爆發(fā)式增長的雙重驅(qū)動(dòng)下，我國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)突破多項(xiàng)技術(shù)瓶頸，實(shí)現(xiàn)了從技術(shù)跟跑、市場補(bǔ)缺到部分關(guān)鍵領(lǐng)域并跑領(lǐng)跑的跨越式發(fā)展，據(jù)統(tǒng)計(jì)，2024年我國半導(dǎo)體設(shè)行業(yè)備市場規(guī)模達(dá)3528.8億元，同比增長36.8%，下游市場持續(xù)繁榮為我國半導(dǎo)體設(shè)備金屬零部件行業(yè)發(fā)展帶來廣闊的增長空間。

相關(guān)報(bào)告：智研咨詢發(fā)布的《中國半導(dǎo)體設(shè)備金屬零部件行業(yè)市場現(xiàn)狀分析及發(fā)展趨向研判報(bào)告》

五、發(fā)展現(xiàn)狀

半導(dǎo)體設(shè)備金屬零部件是晶圓制造環(huán)節(jié)的核心配套組件，深度參與并支撐光刻、刻蝕、沉積、清洗等關(guān)鍵制程的全流程運(yùn)轉(zhuǎn)，是半導(dǎo)體設(shè)備實(shí)現(xiàn)高性能、高可靠性與高良率的核心基礎(chǔ)之一，近年來，受益于下游半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的快速崛起與產(chǎn)能擴(kuò)張，我國半導(dǎo)體設(shè)備金屬零部件市場同步實(shí)現(xiàn)規(guī)模化發(fā)展，據(jù)統(tǒng)計(jì)，2024年我國半導(dǎo)體設(shè)備金屬零部件行業(yè)市場規(guī)模達(dá)31億美元，同比增長34.8%，占全球半導(dǎo)體設(shè)備金屬零部件行業(yè)整體規(guī)模的42%，已成為推動(dòng)全球半導(dǎo)體設(shè)備金屬零部件產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重要力量。

六、競爭格局

1、整體格局

目前，國際上大型半導(dǎo)體設(shè)備金屬零部件企業(yè)憑借其長期積累的技術(shù)優(yōu)勢、品牌優(yōu)勢以及完善的客戶服務(wù)體系成為了國際性半導(dǎo)體設(shè)備廠商的供應(yīng)商，又基于國際性半導(dǎo)體設(shè)備廠商的較大市場份額使得其在全球市場中也占據(jù)了較大份額，這些企業(yè)在高精密制造技術(shù)、特殊表面處理工藝以及材料研發(fā)等方面處于領(lǐng)先水平，能夠?yàn)槿蝽敿獾陌雽?dǎo)體設(shè)備制造商提供高質(zhì)量、高性能的金屬零部件產(chǎn)品，在高端市場形成了較高的競爭壁壘。因此，全球半導(dǎo)體設(shè)備金屬零部件市場由美、日企業(yè)主導(dǎo)，頭部企業(yè)包括日本Ferrotec、美國超科林及中國臺灣京鼎精密，該等國際巨頭憑借技術(shù)積累和先發(fā)優(yōu)勢，在高端金屬零部件市場形成了較高壁壘，通過其長期與國際設(shè)備廠商構(gòu)建的供應(yīng)鏈體系，使得其市占率處于較高水平。而國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備金屬零部件市場競爭呈現(xiàn)“梯隊(duì)分化、加速替代”的格局，目前，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備金屬零部件市場主要參與者包括富創(chuàng)精密、先鋒精科、托倫斯等，未來，隨著我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈全面國產(chǎn)替代進(jìn)程的開啟，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備金屬零部件廠商市場份額將持續(xù)擴(kuò)大，國產(chǎn)化替代進(jìn)程全面提速。

2、代表國產(chǎn)企業(yè)分析

（1）沈陽富創(chuàng)精密設(shè)備股份有限公司

沈陽富創(chuàng)精密設(shè)備股份有限公司是半導(dǎo)體零部件領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè)，產(chǎn)品主要為半導(dǎo)體設(shè)備、泛半導(dǎo)體設(shè)備及其他領(lǐng)域的精密零部件，公司機(jī)械及機(jī)電零組件是半導(dǎo)體設(shè)備中用于構(gòu)建框架、支撐功能實(shí)現(xiàn)及參與核心工藝環(huán)節(jié)的關(guān)鍵部件，涵蓋工藝類、結(jié)構(gòu)類、機(jī)電一體類及模組化組件，代表性產(chǎn)品包括：腔體（按使用功能分為過渡腔、傳輸腔和反應(yīng)腔）、內(nèi)襯、勻氣盤、加熱盤、真空閥體、托盤軸、流量計(jì)底座以及離子注入機(jī)模組、傳輸腔模組、過渡腔模組、刻蝕閥體模組等。2024年富創(chuàng)精密營業(yè)總收入達(dá)30.4億元，其中，機(jī)械及機(jī)電零組件業(yè)務(wù)收入20.84億元，占營業(yè)總收入的68.56%。

（2）江蘇先鋒精密科技股份有限公司

江蘇先鋒精密科技股份有限公司是國內(nèi)半導(dǎo)體刻蝕和薄膜沉積設(shè)備廠商關(guān)鍵精密零部件供應(yīng)商，公司自設(shè)立時(shí)起即與行業(yè)頭部企業(yè)北方華創(chuàng)和中微公司開展密切合作，同時(shí)，還與拓荊科技、華海清科、中芯國際、屹唐股份等其他行業(yè)頭部企業(yè)和終端晶圓制造企業(yè)建立了長期穩(wěn)定的戰(zhàn)略合作關(guān)系。公司的產(chǎn)品為應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域及其他領(lǐng)域的各類精密金屬零部件，在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，公司產(chǎn)品主要分為工藝部件、結(jié)構(gòu)部件。2025年上半年先鋒精科營業(yè)總收入已完成6.55億元，其中，工藝部件占71.38%，結(jié)構(gòu)部件占19.61%。

七、發(fā)展趨勢

1、技術(shù)升級迭代加速，高精尖工藝突破成核心方向

隨著半導(dǎo)體工藝持續(xù)向先進(jìn)制程演進(jìn)，對設(shè)備金屬零部件的性能要求不斷攀升，推動(dòng)行業(yè)進(jìn)入技術(shù)密集型發(fā)展階段，未來，半導(dǎo)體設(shè)備金屬零部件行業(yè)將聚焦微米級乃至更高精度的加工工藝突破，重點(diǎn)攻克耐腐蝕性、密封性、熱穩(wěn)定性等關(guān)鍵性能指標(biāo)，以適配刻蝕、薄膜沉積等核心設(shè)備的極端工作環(huán)境。同時(shí)，技術(shù)研發(fā)將呈現(xiàn)多學(xué)科交叉融合特征，深度整合材料科學(xué)、機(jī)械制造、精密儀器等領(lǐng)域技術(shù)，推動(dòng)特殊合金材料應(yīng)用、先進(jìn)表面處理工藝等核心技術(shù)創(chuàng)新，助力零部件產(chǎn)品從結(jié)構(gòu)件向高附加值的核心工藝件升級。

2、國產(chǎn)替代進(jìn)程全面深化，高端領(lǐng)域突破成為關(guān)鍵

在全球供應(yīng)鏈重構(gòu)與國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主可控戰(zhàn)略推動(dòng)下，國產(chǎn)替代將從中低端結(jié)構(gòu)件向高端核心零部件全面延伸。國內(nèi)企業(yè)將憑借政策支持與研發(fā)積累，持續(xù)突破冷盤、靜電卡盤基體等高精度核心部件的技術(shù)瓶頸，逐步打破國際巨頭在高端市場的壟斷格局。同時(shí)，本土零部件企業(yè)將加速進(jìn)入國內(nèi)頭部半導(dǎo)體設(shè)備商供應(yīng)鏈，通過長期合作驗(yàn)證提升產(chǎn)品可靠性與品牌認(rèn)可度，推動(dòng)國產(chǎn)零部件在關(guān)鍵設(shè)備中的滲透率持續(xù)提升，構(gòu)建自主可控的本土供應(yīng)鏈體系。

3、產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同效應(yīng)凸顯，生態(tài)化合作成發(fā)展主流

未來，半導(dǎo)體設(shè)備金屬零部件行業(yè)將呈現(xiàn)上下游深度綁定的協(xié)同發(fā)展態(tài)勢，形成“材料研發(fā)-零部件制造-設(shè)備集成”的一體化創(chuàng)新生態(tài)。上游材料企業(yè)將與零部件廠商聯(lián)合攻關(guān)，開發(fā)適配半導(dǎo)體工藝需求的高純、特種金屬材料；下游設(shè)備整機(jī)廠商將提前介入零部件研發(fā)環(huán)節(jié)，通過協(xié)同設(shè)計(jì)、聯(lián)合驗(yàn)證提升產(chǎn)品適配性。此外，產(chǎn)學(xué)研合作將進(jìn)一步深化，科研機(jī)構(gòu)與企業(yè)共建創(chuàng)新平臺，聚焦核心技術(shù)難題攻關(guān)，加速科研成果產(chǎn)業(yè)化轉(zhuǎn)化，同時(shí)培養(yǎng)兼具多學(xué)科知識的復(fù)合型人才，為行業(yè)發(fā)展提供技術(shù)與人才支撐。

4、定制化與綠色化并行，適配多元化市場需求

隨著半導(dǎo)體應(yīng)用領(lǐng)域向人工智能、新能源汽車等多元化拓展，不同場景對設(shè)備的個(gè)性化需求將傳導(dǎo)至零部件環(huán)節(jié)，定制化生產(chǎn)成為企業(yè)核心競爭力之一。零部件廠商將根據(jù)不同設(shè)備類型、工藝要求提供差異化解決方案，從傳統(tǒng)訂單式生產(chǎn)向“共同設(shè)計(jì)+增值服務(wù)”模式轉(zhuǎn)型。同時(shí)，綠色制造理念將全面融入行業(yè)發(fā)展，半導(dǎo)體設(shè)備金屬零部件企業(yè)將通過優(yōu)化加工流程、采用環(huán)保工藝、提升材料利用率等方式降低生產(chǎn)能耗與污染物排放，推動(dòng)行業(yè)向低碳、可持續(xù)方向發(fā)展，契合全球產(chǎn)業(yè)綠色轉(zhuǎn)型趨勢。

以上數(shù)據(jù)及信息可參考智研咨詢（m.thewallstreetmoneymachine.com）發(fā)布的《中國半導(dǎo)體設(shè)備金屬零部件行業(yè)市場現(xiàn)狀分析及發(fā)展趨向研判報(bào)告》。智研咨詢是中國領(lǐng)先產(chǎn)業(yè)咨詢機(jī)構(gòu)，提供深度產(chǎn)業(yè)研究報(bào)告、商業(yè)計(jì)劃書、可行性研究報(bào)告及定制服務(wù)等一站式產(chǎn)業(yè)咨詢服務(wù)。您可以關(guān)注【智研咨詢】公眾號，每天及時(shí)掌握更多行業(yè)動(dòng)態(tài)。